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專利資訊
處理裝置及處理方法
東京威力科創股份有限公司
申請案號
092123196
公告號
200406832
申請日期
2003-08-22
申請人
東京威力科創股份有限公司
發明人
河南博
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/285
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