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IPC H01L21/285 專利列表

共 3 筆結果

鎢膜之形成方法

東京威力科創股份有限公司

案號 0931060612004-03-08IPC H01L21/285

處理裝置及處理方法

東京威力科創股份有限公司

案號 0921231962003-08-22IPC H01L21/285

形成共形矽化鎢之鎢沉積方法

應用材料股份有限公司

案號 0911375612002-12-26IPC H01L21/285

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