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專利資訊
於摘去一薄層後之包含有緩衝層之晶圓之回收
斯歐埃技術公司
申請案號
092123247
公告號
200414417
申請日期
2003-08-25
申請人
斯歐埃技術公司
發明人
齊賽倫
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/762
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