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Si02/SiC 結構中界面狀態之氮鈍化作用
美商沃孚半導體有限公司
申請案號
092123969
公告號
200411772
申請日期
2003-08-29
申請人
美商沃孚半導體有限公司
發明人
亞當 威廉 薩克勒
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/318
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Si02/SiC 結構中界面狀態之氮鈍化作用 - 專利資訊 | NowTo 智財通