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專利資訊
用以傳送基材承載件之系統與方法
應用材料股份有限公司
申請案號
092124036
公告號
200405407
申請日期
2003-08-29
申請人
應用材料股份有限公司
發明人
麥可R 萊斯
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/677
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