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專利資訊
半導體裝置
東芝股份有限公司
申請案號
092124340
公告號
200416780
申請日期
2003-09-03
申請人
東芝股份有限公司
發明人
蓮沼正彥
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/00
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