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專利資訊
清洗保養旋轉蝕刻機之方法
旺宏電子股份有限公司
申請案號
092124523
公告號
200511427
申請日期
2003-09-04
申請人
旺宏電子股份有限公司
發明人
張原勳
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/3063
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