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專利資訊
強制對流輔助快速加熱爐
晶圓大師股份有限公司
申請案號
092124584
公告號
200407946
申請日期
2003-09-05
申請人
晶圓大師股份有限公司
發明人
于伍錫
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/00
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