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專利資訊
具阻抗匹配功能的電漿裝置與方法
聯華電子股份有限公司
申請案號
092124604
公告號
200402095
申請日期
2003-09-05
申請人
聯華電子股份有限公司
發明人
賴建興
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/205
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