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專利資訊
光阻基材及其精製方法、以及光阻組成物
出光興產股份有限公司
申請案號
092124659
公告號
200405957
申請日期
2003-09-05
申請人
出光興產股份有限公司
發明人
上田充
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
G03F7/039
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