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含甲醇且以矽石為主之CMP組合物

卡博特微電子公司

申請案號
092124877
公告號
200417588
申請日期
2003-09-08
申請人
卡博特微電子公司
發明人
羅勃 瓦卡希
資料更新日
2026-04-04

IPC 分類

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含甲醇且以矽石為主之CMP組合物 - 專利資訊 | NowTo 智財通