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專利資訊
含甲醇且以矽石為主之CMP組合物
卡博特微電子公司
申請案號
092124877
公告號
200417588
申請日期
2003-09-08
申請人
卡博特微電子公司
發明人
羅勃 瓦卡希
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
C09G1/02
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