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專利資訊
用於減少於基板及基板支撐上聚合物沈積之裝置
藍姆研究公司
申請案號
092125085
公告號
200405466
申請日期
2003-09-10
申請人
藍姆研究公司
發明人
喬西 佟
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/3065
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