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專利資訊
成膜裝置
愛沃特股份有限公司
申請案號
092125093
公告號
200412375
申請日期
2003-09-10
申請人
愛沃特股份有限公司
發明人
稻垣徹
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
C23C16/44
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