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專利資訊
溼蝕刻矽薄膜之厚度即時監控方法
張培仁
申請案號
092125188
公告號
200511405
申請日期
2003-09-12
申請人
張培仁
發明人
張培仁
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/30
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