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專利資訊
建立電氣接點之主動方法與系統
瓦里安半導體設備聯合公司
申請案號
092125251
公告號
200416781
申請日期
2003-09-12
申請人
瓦里安半導體設備聯合公司
發明人
羅德斯 凱文G
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/00
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