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使用一具有一雙抗反射塗佈之光罩製造積體電路之方法

摩托羅拉公司

申請案號
092125503
公告號
200414305
申請日期
2003-09-16
申請人
摩托羅拉公司
發明人
威Ｅ　吳
資料更新日
2026-04-04

IPC 分類

H01L21/027
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使用一具有一雙抗反射塗佈之光罩製造積體電路之方法 - 專利資訊 | NowTo 智財通