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遮罩設計時之基體形態補償：錨定的３Ｄ　ＯＰＣ形態

艾基爾系統股份有限公司

申請案號
092125773
公告號
200407968
申請日期
2003-09-18
申請人
艾基爾系統股份有限公司
發明人
史考特　傑森
資料更新日
2026-04-04

IPC 分類

H01L21/027
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遮罩設計時之基體形態補償：錨定的３Ｄ　ＯＰＣ形態 - 專利資訊 | NowTo 智財通