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專利資訊
電漿處理室中之邊緣環磨損之補償方法及裝置
泛林股份有限公司
申請案號
092125775
公告號
200408043
申請日期
2003-09-18
申請人
泛林股份有限公司
發明人
羅柏特 史特格
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/70
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