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電漿處理室中之邊緣環磨損之補償方法及裝置

泛林股份有限公司

申請案號
092125775
公告號
200408043
申請日期
2003-09-18
申請人
泛林股份有限公司
發明人
羅柏特 史特格
資料更新日
2026-04-04

IPC 分類

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