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在晶圓的層中蝕刻具有部件深度之部件的方法

泛林股份有限公司

申請案號
092126217
公告號
200411734
申請日期
2003-09-23
申請人
泛林股份有限公司
發明人
湯姆 坎波
資料更新日
2026-04-04

IPC 分類

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