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專利資訊
來自電漿製程之資料的分析方法與系統
東京威力科創股份有限公司
申請案號
092126522
公告號
200419631
申請日期
2003-09-25
申請人
東京威力科創股份有限公司
發明人
戴安娜 道普
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/00
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