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用以改善雙鑲嵌結構積體電路特徵之製造的底部抗反射塗層成形

應用材料股份有限公司

申請案號
092127102
公告號
200408049
申請日期
2003-09-30
申請人
應用材料股份有限公司
發明人
謝章麟
資料更新日
2026-04-04

IPC 分類

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用以改善雙鑲嵌結構積體電路特徵之製造的底部抗反射塗層成形 - 專利資訊 | NowTo 智財通