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專利資訊
電漿摻雜方法及電漿摻雜裝置
松下電器產業股份有限公司
申請案號
092127187
公告號
200416842
申請日期
2003-10-01
申請人
松下電器產業股份有限公司
發明人
奧村智洋
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/22
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