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發熱體化學氣相沉積裝置、及發熱體化學氣相沉積裝置的發熱體與電力供給機構之間的連接構造
安內華股份有限公司
申請案號
092127202
公告號
200414314
申請日期
2003-10-01
申請人
安內華股份有限公司
發明人
石橋啟次
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/205
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