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專利資訊
高能量粒子轟擊製程的遮蔽裝置
台灣積體電路製造股份有限公司
申請案號
092127238
公告號
200409214
申請日期
2003-10-01
申請人
台灣積體電路製造股份有限公司
發明人
林文欽
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/266
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