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具羥基化光酸可解離基團之光阻劑

杜邦股份有限公司

申請案號
092127441
公告號
200417818
申請日期
2003-10-03
申請人
杜邦股份有限公司
發明人
威廉 布朗 法漢
資料更新日
2026-04-04

IPC 分類

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具羥基化光酸可解離基團之光阻劑 - 專利資訊 | NowTo 智財通