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衍生於具有多個環氧部份之小型芯分子的底部抗反射塗覆物
布魯爾科技公司
申請案號
092127924
公告號
200422768
申請日期
2003-10-08
申請人
布魯爾科技公司
發明人
查理J 尼夫
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
G03F7/11
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