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專利資訊
可形成微影用防反射膜之組成物
日產化學工業股份有限公司
申請案號
092128174
公告號
200413856
申請日期
2003-10-09
申請人
日產化學工業股份有限公司
發明人
岸岡高廣
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
G03F7/11
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