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專利資訊
一種應變鬆弛矽鍺磊晶層之製造方法及其結構
財團法人工業技術研究院
申請案號
092128744
公告號
200515486
申請日期
2003-10-16
申請人
財團法人工業技術研究院
發明人
陳邦旭
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/205
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