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專利資訊
對於半導體處理室之氟之次大氣壓供給
BOC集團公司
申請案號
092128866
公告號
200419665
申請日期
2003-10-17
申請人
BOC集團公司
發明人
理查A 霍格
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/306
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