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專利資訊
晶圓清洗之旋轉溼製程及其設備
台灣積體電路製造股份有限公司
申請案號
092128936
公告號
200411760
申請日期
2003-10-17
申請人
台灣積體電路製造股份有限公司
發明人
陳柏仁
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/306
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