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填充間隙的方法與淺溝渠隔離結構的製造方法

旺宏電子股份有限公司

申請案號
092129093
公告號
200515487
申請日期
2003-10-21
申請人
旺宏電子股份有限公司
發明人
呂前宏
資料更新日
2026-04-04

IPC 分類

H01L21/205
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填充間隙的方法與淺溝渠隔離結構的製造方法 - 專利資訊 | NowTo 智財通