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專利資訊
於矽苛性蝕刻中使用添加劑以獲得改良表面特性之方法
界面動力有限公司
申請案號
092129527
公告號
200423247
申請日期
2003-10-24
申請人
界面動力有限公司
發明人
鮑 威爾多
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/306
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