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在多層之半導體結構中形成對準帽蓋金屬線及內連線
萬國商業機器公司
申請案號
092130221
公告號
200410341
申請日期
2003-10-30
申請人
萬國商業機器公司
發明人
斯蒂芬尼R 席哈斯
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/3205
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在多層之半導體結構中形成對準帽蓋金屬線及內連線 - 專利資訊 | NowTo 智財通