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專利資訊
形成低介電常數非晶質矽石系被膜用塗覆液及該塗覆液之調製方法
日揮觸媒化成股份有限公司
申請案號
092130272
公告號
200415216
申請日期
2003-10-30
申請人
日揮觸媒化成股份有限公司
發明人
中島昭
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
C09D183/04
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