IP
NowTo 智財通
EN
首頁
/
專利資訊
多層膜材料之乾式蝕刻方法
瑞薩科技股份有限公司
申請案號
092130439
公告號
200425330
申請日期
2003-10-31
申請人
瑞薩科技股份有限公司
發明人
川井健治
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/3065
查看申請人公司資訊
本站使用 Cookie 進行流量分析,以提供更好的使用體驗。
拒絕
接受
×
多層膜材料之乾式蝕刻方法 - 專利資訊 | NowTo 智財通