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包括低電介係數電介質之銅金屬化層用之改善阻障層

高級微裝置公司

申請案號
092130442
公告號
200414430
申請日期
2003-10-31
申請人
高級微裝置公司
發明人
路克　赫特馬
資料更新日
2026-04-04

IPC 分類

H01L21/768
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