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專利資訊
基板處理設備及方法
蘭姆研究公司
申請案號
092130509
公告號
200425223
申請日期
2003-10-31
申請人
蘭姆研究公司
發明人
小林直昭
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/00
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