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專利資訊
投影光學系統,曝光裝置及裝置製造方法
佳能股份有限公司
申請案號
092130850
公告號
200425265
申請日期
2003-11-04
申請人
佳能股份有限公司
發明人
鈴木雅之
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/027
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