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專利資訊
用於在磁鐵中離子束中和之方法及裝置
維瑞安半導體設備公司
申請案號
092130907
公告號
200419634
申請日期
2003-11-05
申請人
維瑞安半導體設備公司
發明人
盧爾B 里爾柏
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/00
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