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專利資訊
在預清潔製程中防止間隙壁底切之方法
聯華電子股份有限公司
申請案號
092131271
公告號
200408051
申請日期
2003-11-07
申請人
聯華電子股份有限公司
發明人
鄭雅倫
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/76
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