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專利資訊
基板處理裝置及洗淨方法
東京威力科創股份有限公司
申請案號
092131289
公告號
200425224
申請日期
2003-11-07
申請人
東京威力科創股份有限公司
發明人
山崎剛
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/00
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