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沸石溶膠及其製備方法、用以形成多孔薄膜的組成物、多孔薄膜及其形成方法、層間絕緣膜以及半導體元件

信越化學工業股份有限公司

申請案號
092131710
公告號
200415217
申請日期
2003-11-12
申請人
信越化學工業股份有限公司
發明人
荻原勤
資料更新日
2026-04-04

IPC 分類

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