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專利資訊
多孔低介電常數膜的非熱形成方法
慧盛材料美國責任有限公司
申請案號
092131720
公告號
200413559
申請日期
2003-11-12
申請人
慧盛材料美國責任有限公司
發明人
亞倫 史考特 盧卡斯
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
C23C16/42
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