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IPC C23C16/42 專利列表

共 4 筆結果

使用含有Ｓｉ-Ｓｉ鍵之有機含矽化合物形成含矽之薄膜的方法

三菱綜合材料股份有限公司

案號 0931030792004-02-10IPC C23C16/42

用於沈積含矽膜的前驅物及方法

氣體產品及化學品股份公司

案號 0931014122004-01-19IPC C23C16/42

多孔低介電常數膜的非熱形成方法

慧盛材料美國責任有限公司

案號 0921317202003-11-12IPC C23C16/42

形成具有低介電常數及高機械強度之含矽絕緣層之方法

日本ＡＳＭ股份有限公司

案號 0921025092003-02-07IPC C23C16/42

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