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專利資訊
顯像方法及顯像裝置
東京威力科創股份有限公司
申請案號
092131831
公告號
200415705
申請日期
2003-11-13
申請人
東京威力科創股份有限公司
發明人
立山清久
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/027
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