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專利資訊
用以改善腐蝕以及熱阻抗、具有多層金屬膜堆疊之內連線
傑能基金公司
申請案號
092131932
公告號
200414431
申請日期
2003-11-14
申請人
傑能基金公司
發明人
土居悟史
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/768
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用以改善腐蝕以及熱阻抗、具有多層金屬膜堆疊之內連線 - 專利資訊 | NowTo 智財通