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專利資訊
壓電控制下之磁致動器
ASML荷蘭公司
申請案號
092132139
公告號
200425266
申請日期
2003-11-17
申請人
ASML荷蘭公司
發明人
羅博齊 愛米爾 馬利亞 李尼亞 戴 偉德
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/027
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