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專利資訊
用以降低光阻劑厚度及通道電阻之導線及接觸孔形成方法
南亞科技股份有限公司
申請案號
092132655
公告號
200518165
申請日期
2003-11-21
申請人
南亞科技股份有限公司
發明人
黃則堯
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/00
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