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專利資訊
曝光裝置以及曝光方法
尼康股份有限公司
申請案號
092132868
公告號
200416824
申請日期
2003-11-24
申請人
尼康股份有限公司
發明人
小山元夫
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/027
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