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經由金屬有機化學蒸氣沉積法(MOCVD)使金屬氧化物薄膜沉積之方法
茲諾傑尼克發展有限責任公司
申請案號
092133414
公告號
200424338
申請日期
2003-11-27
申請人
茲諾傑尼克發展有限責任公司
發明人
庄維佛
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
C23C16/06
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